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服務內容：

• 三維表面形貌分析： 精確重建樣品表面的三維形貌圖像，直觀展現表面的起伏、紋理與結構特征。

• 粗糙度與輪廓參數測量： 提供符合ISO標準的Ra、Rq、Rz等多種粗糙度參數，以及臺階高度、平面度、體積等關鍵尺寸的精準測量。

• 薄膜厚度與膜基形貌分析： 對透明薄膜的厚度進行測量，并分析膜層的表面平整度與覆蓋情況。

• 微觀形變與磨損分析： 對比處理前后的表面形貌變化，用于分析材料的磨損、腐蝕、劃痕等性能。

技術優勢：

• 非接觸無損檢測： 光學測量方式，完全避免對柔軟、易損傷樣品表面的觸碰和破壞。

• 高精度與高效率： 納米級的縱向分辨率，結合高速掃描，可快速獲取大面積三維數據，提升檢測效率。

• 跨尺度測量能力： 兼顧高分辨率與大視野，既能分析微觀粗糙度，也能測量宏觀的平面度和輪廓度。

• 強大的分析軟件： 提供豐富的數據分析工具，可輕松獲取數十種表面參數，并生成直觀的二維、三維圖表。

典型應用客戶：

• 半導體與MEMS： 晶圓表面粗糙度、CMP工藝后平整度、光刻膠形貌、微結構尺寸測量。

• 精密加工與制造： 刀具、軸承、模具的表面粗糙度與磨損情況檢測。

• 光學與鍍膜行業： 光學元件表面質量、薄膜平整度檢驗。

• 材料科學研發： 涂層表面形貌、復合材料界面分析、材料摩擦學性能研究。

• 生物與醫療器件： 人工植入體表面粗糙度、微流道芯片的輪廓測量。